Учебное пособие для вузов «Микро, опто и наноэлектронные технологии» подготовлено преподавателями Туркменского государственного архитектурно-строительного института М.Ялкаповой и Г.Кулиевой. Учебник подготовлен издательством «Ылым» Академии наук Туркменистана.
Учебник состоит из трёх частей. В первой части рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро,опто и наноэлектронике, включая выделение химических веществ, их очистку до соединений, окончательную очистку и получение монокристаллов с заданными свойствами.
Во втором разделе описывается технология простых полупроводников, в частности методы получения и свойства германия и кремния, которые используются в микро, опто и наноэлектронике.
В третьем разделе, а именно в технологии полупроводниковых соединений III и IV, рассматриваются природа и свойства полупроводниковых соединений, особенности технологии их соединения, технология получения монокристаллов соединений с заданными свойствами и технология получения эпитаксиальных структур.
Учебник будет полезен студентам, изучающим электронику и микроэлектронику, а также специалистам, работающим в соответствующих областях.
Научный отдел Туркменского государственного архитектурно-строительного института
